真空腔體在真空鍍膜設備中被認為是主體部分，因為它承擔了創建和維持高真空環境的關鍵角色。以下是一些原因解釋為什么真空腔體是真空鍍膜設備的主體部分：

       1、真空環境的形成：它是容納鍍膜過程的空間，通過排除大部分氣體分子和粒子，制造出高度稀薄的真空環境。在這種環境中，材料蒸發、濺射或其他涂層過程能夠越加準確的進行，從而實現所需的薄膜性能。

       2、薄膜質量的保障：其環境可以避免雜質、氧氣和水分的干擾，有利于保障薄膜的質量和穩定性。它的設計和密封性能對于有效隔絕外部環境影響很重要，以保障薄膜涂層的一致性和牢靠性。

       3、工藝控制：它是工藝參數控制的關鍵部分，可以通過控制壓力、溫度等參數來調整薄膜的生長速率、厚度和成分。準確的工藝控制是獲得所需薄膜性能的關鍵因素。

       4、避免污染和交叉污染：其環境減少了外部污染物進入鍍膜過程的可能性，從而降低了交叉污染的風險。這對于保障不同樣品或批次之間的一致性和純度很重要。

       5、設備穩定性和安全性：它通常由品質好的材料制成，具有耐腐蝕性和耐受高溫性能，可以承受高真空下的壓力和溫度變化。真空鍍膜設備的穩定性和安全性都與真空腔體的設計和制造有關。